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電漿熔射 Plasma Thermal Spray


電漿熔射乃藉由氬氣、氫氣或氦氣作為電漿氣體,在電極與噴嘴之間輸入數百安培及數十伏特之電能以產生電漿,然後藉由氣流之引導,將熔融的粉末噴覆至基材上形成塗層,藉以達到表面改質的效果。
本公司針對光電/半導體之關鍵製程零件,除提供優良的陽極處理外,亦可依客戶需求在陽極表面進行氧化鋁及氧化釔等粉末的電漿熔射噴塗,改善耐蝕性以延長該零件上機時數,提升客戶機台之穩定性,並減少零件報廢之成本。 本公司電漿設備噴塗區域範圍可至2.5m*3m,可處理至第8或第8.5代之光電零件,並具有八軸同動功能,可針對各種形狀的半導體零件進行噴塗作業。

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