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陽極處理 Anodization


榮眾科技針對光學/半導體之CVD、ETCH製程所用之關鍵零件提供草酸陽極、硫酸陽極、硬質陽極等陽極處理,此陽極皮膜可保護鋁質零件耐電漿侵蝕、離子轟擊及腐蝕氣體侵蝕,有效增加零件使用壽命,且可藉由陽極再生處理,得到新生的陽極皮膜,大量降低零件報廢成本。